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实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运！
大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载：50KG
动态范围：1780mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室
适用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运，提高生产效率。
高度柔性动作，大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度，降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。
项目 规格
名称 MOTOMAN-MFS2200D-3600
机型 YR-MFS050D-A00
构造 水平多关节形(6个自由度)
负载 50kg/手臂
重复定位精度*1 ±0.2mm
动作范围 U轴(上下轴) 3600mm
S轴(回转轴) -180.5°~+180.5°
L，R轴(前后轴) -1780mm~+1780mm
左右运作 -50mm~+50mm
扭动运作 -6°~+6°(上下轴100~1750mm范围)
-0.5°~+0.5°(以上范围以外)
速度 U轴(上下轴) 950mm/s
S轴(回转轴) 1.57rad/s,90°/s
L，R轴(前后轴) *大3600mm/s
容许力矩 L，R轴(前后轴) 353N·m
容许惯性力矩(CD2/4) L，R轴(前后轴) 71kg·m2
标准喷涂色 孟塞尔munsell N9.5
本体质量 2430kg
洁净度*2 ISO4
安置环境 温度 15~25°C
湿度 20~80%RH(不结露)
振动 4.9m/s2以下
其他 ·环境没有引火性及腐蚀性气体，液体
·远离水
·远离电子噪音源
·安装机器人水平面水平度在0.5mm以下
电源容量*3 12.0kVA
*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保工件搬运面以上洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。